Инициаторами соз­дания новой кафедры ионных приборов (ныне кафедры промышленной электроники) были заведующий кафедрой электровакуумной техники доцент П.В. Пошехонов и заведующий кафедрой промэлектроники Московского энергетического инсти­тута профессор И.Л. Каганов. Так в 1963 году кафедра начала свою деятельность. Первыми преподавателями – основоположниками кафедры промышленной электроники стали А.А. Никола­ев, И.А. Зайцев, А.С. Арефьев, С.П. Шумаков и Ю.В. Тихоми­ров. Позже преподавательский состав кафедры пополнялся за счет собственных выпуск­ников и бывших выпускников родственных кафедр. Так на­чали работать В.Ф. Гнидо, Н.И. Шадрин, Г.Н. Золотухин, И.Г. Кожевников, В.И. Булкин, В.И. Хоточкин, Б.Д. Малолетков, Ю.А. Юдаев, Н.П. Богданова и другие. В 1963 году достраивалось главное здание РРТИ, лабора­торный корпус находился на стадии проекта. Поэтому на первых порах все научные ис­следования и лабораторные работы студентов проводились в первом учебном корпусе на улице Циолковского.

Первым заведующим кафедрой был Александр Андреевич НИКОЛАЕВ (возглавлял кафедру с 1963 по 1977 гг.). В этот период были органи­зованы не имеющие аналогов в других вузах лабораторные практикумы по физике газо­вого разряда, были созданы откачные экс­периментальные установки, подготовлена измерительная аппаратура. Главной целью работы в то время была подготовка кадров для НИИГРП и ку­рируемых им предприятий.

При Александре Сергеевиче АРЕФЬЕВЕ (заведующий кафедрой с 1978 по 1987 гг.) был от­крыт филиал кафедры в НПО «Плазма», где студенты прохо­дили лабораторный практикум в производственных условиях под руководством со­трудников предприятий и осваивали работы на слож­ном оборудовании. Разработки кафедры стали использоваться на производстве в конструкци­ях и режимах работы мощных высоковольтных коммутаторов, искровых разрядниках и газо­разрядных лазерах. В это время на кафедре начинают работать Е.В. Мамонтов, А.А. Свиязов, Н.М. Верещагин, В.М. Геннадьев.

С назна­чением Игоря Васильевича ЗАКУРДАЕВА (заведующий кафедрой с 1987 по 2003 гг.) интенсив­но развивались исследования, связанные с разработкой и применением математического и компьютерного моделиро­вания в области физики газо­вого разряда и конструирова­ния газоразрядных приборов нового поколения. Появились перспективные научные на­правления: туннельная микро­скопия, разработка методов по­лучения чистых и сверхчистых материалов, а также методов электронно-ионной технологии и диагностики поверхности. От­крылся второй филиал кафе­дры, на этот раз в НИТИ.

С 2003 по 2017 гг. кафедру промышленной электроники возглавлял Виктор Сергеевич ГУРОВ. В это время на кафедре промыш­ленной электроники активно развивались работы по физике газового разряда, сильноточной элек­троники, динамической масс-спектрометрии, сканирующей туннельной и силовой атомной микроскопии, информацион­ных технологий, аналитическо­го приборостроения, методов эффективного теплоотвода от устройств РЭА, цифровой электронике и электроэнергетике. На кафедре были пере­оборудованы лаборатории по схемотехнике, электротехнике и электроэнергетике, были открыты направления подготовки 11.03.03 Конструирование и технологии электронных средств (ОПОП Конструирование устройств автоматики и электроники) и 13.03.02 Электроэнергетика и электротехника (ОПОП Электроснабжение). В этот период на кафедру промышленной электроники приходят работать молодые преподаватели С.А. Круглов, Г.П. Гололобов. Аспиранты А.А. Дягилев, С.А. Сережин, Е.Ю. Грачев, В.В. Климаков, В.С. Иванов, Д.В. Суворов, Е.В. Сливкин после защиты диссертаций также остаются работать на кафедре.

С 2017 года по настоящее время кафедру промышленной электроники возглавляет Сергей Александрович КРУГЛОВ.